常用名 四甲基氢氧化铵

别  名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH

英文名 Tetramethylammonium hydroxide

CAS号 75-59-2 

EINECS 200-882-9

分子式 C4H13NO 

分子量 91.152

密  度 0.866 g/mL 

沸  点 110 °C

熔  点 62-71°C

闪  点 80 °F

性  状 无色结晶

溶解性 溶于水和乙醇等

用  途 

1.用作极谱分析试剂

2.用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等

3.在电子行业中，广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等