常用名 三氯化硼 

英文名 Boron trichloride

CAS号 10294-34-5 

EINECS 233-658-4

分子式 BCl3

分子量 117.170

密  度 1.4±0.1 g/cm3 

沸  点 12.5±9.0 °C 

熔  点 −107 °C

闪  点 84 °F

性  状 透明无色液体

用  途 

1.用作半导体硅的掺杂源，有机合成催化剂;还可用于高纯硼和有机硼化合物的制取

2.可用以制造高纯硼、有机合成用催化剂、硅酸盐分解时的助熔剂、可对钢铁进行硼化。还可用来制造氮化硼及硼烷化合物。

3.主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。