中文名：三氯硅烷

英文名：Trichlorosilane

中文别名：三氯氢硅

CAS号：10025-78-2

EINECS号;233-042-5

密度:1.342 g/mL 

沸点:31.8±9.0 °C

熔点:-127 °C

分子式:Cl3HSi

分子量:135.452

闪点:7 °F

外观:无色液体

用途：用作高分子有机硅化合物的原料，也用于仪表工业；制造有机硅化合物的原料，也是生产多晶硅的基本原料